Rancang bangun alat ukur ketebalan lapisan tipis dengan prinsip kapasitif

INDONESIA:

Prinsip kapasitif merupakan Prinsip elektronika yang bekerja berdasarkan konsep kapasitif. Konsep ini bekerja berdasarkan perubahan muatan energi listrik yang dapat disimpan oleh sensor akibat perubahan jarak lempeng, perubahan luas penampang dan perubahan volume dielektrikum sensor kapasitif tersebut. Konsep kapasitor yang digunakan dalam sensor kapasitif adalah proses menyimpan dan melepas energi listrik dalam bentuk muatan-muatan listrik pada kapasitor yang dipengaruhi oleh luas permukaan, jarak dan bahan dielektrikum.
Penelitian ini bertujuan untuk mengkaji konsep prinsip kapasitif dengan mengaitkan hubungan jarak dengan frekuensi untuk menentukan ketebalan lapisan tipis dengan prinsip kapasitif. Jarak yang digunakan dalam kalibarisi adalah 0,001 mm; 0,002 mm; 0,003 mm; 0,004 mm; 0,005 mm; 0,006 mm; 0,007 mm; 0,008 mm; 0,009; dan 0,01 mm. Persamaan rumus yang digunakan program d=a(f)+c, ketepatan pada penelitian masih terjadi error antara 0,001 mm sampai 0,002 mm.

ENGLISH:

Principle capacitive is electronic principle that worket based on capacitive concept. If will be runned because of the change of the content of the power of electric saved by sensor, the change of capacious longitudinal section and volume of dielectricum capacitive censor. The censor of capacitive is to save and release the power of electic in loads of electricity that influenced by surface area, distance and the substance of dielectricum.
This research is asmed to examine the concept of principle capacitive with the distance and frequency to determine the thickness of slight layer, the calibration distance is 0,001 mm; 0,002 mm; 0,003 mm; 0,004 mm; 0,005 mm; 0,006 mm; 0,007 mm; 0,008 mm; 0,009 mm; and 0,01 mm. the similary formula is d=a(f)+c, this still has error between 0,001 mm up to 0,002 mm.

ARABIC:

قواعد السعة هي قواعد الإلكترونيات على أساس قواعد السعة. هذه الفكرة تعمل على أساس تغيير الطاقة الكهربائية التي يمكن تخزينها بواسطة أجهزة الاستشعار بسبب التغيرات في ألواح المسافة، والتغيرات منطقة مستعرضة والتغيرات في حجم جهاز استشعار بالسعة عازلة. فكرة مكثف المستخدمة في جهاز استشعار بالسعة هو عملية تخزين وإطلاق الطاقة الكهربائية في شكل الشحنات الكهربائية في مكثف يتأثر مساحة والمسافة والعوازل. طبيعة أجهزة الاستشعار بالسعة التي يمكن استخدامها في عملية القياس . ويستخدم هذا الفكرة في دائرة مذبذب لتقييم العلاقة مسافة مع تردد أنه سيتم دراستها من حيث المبدأ على مفهوم بالسعة لقياس سماكة الفيلم بناء على أمر من الصغير.
هدفت هذه الدراسة إلى دراسة مفهوم مبدأ بالسعة من خلال إنشاء رابط مع نطاق تردد لتحديد سمك الأغشية الرقيقة مع مبدأ بالسعة. المسافة المستخدمة في المعايرة هي 0.001 مم؛ 002. 0مم؛ 0.003 مم؛ 004 0.مم؛ 0.005 مم؛ 0.006 مم؛ 0.007 مم؛ 008. 0مم؛ 0.009. و 0.01 ملم. البرنامج يستخدم صيغة معادلة د = يحدث (و) + ج، وكانت دقة الأبحاث خطأ بين 001 0.ملم إلى 002 0.ملم.